近日，“高精度EBSD探测器研制”国家重点研发计划项目启动暨实施方案论证会在杭州桐庐成功召开，为EBSD国产化迈出了第一步。

　　2024年3月22日，国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项——“高精度电子背散射衍射探测器研制”项目启动暨实施方案论证会在项目牵头单位——浙江祺跃科技有限公司（以下简称祺跃科技）所在地杭州桐庐成功召开。

　　曾毅介绍，电子背散射衍射探测器（EBSD）作为扫描电子显微镜（SEM）、聚焦离子束（FIB）的关键部件，可拓其应用范围，实现高精度微区晶体学显微结构分析，广泛应用于材料、地质、冶金和半导体等重要科研和生产领域。然而，目前我国在EBSD技术方面完全依赖进口。为打破国外垄断，同时满足纳米尺度晶体信息表征需求，亟需研制具有自主知识产权的高精度EBSD。该项目由祺跃科技、中国科学院上海硅酸盐研究所（以下简称上海硅酸盐所）、中国科学院国家空间科学中心（以下简称空间中心）和中国科学院电工研究所（以下简称电工所）共同承担，集各方优势技术，加快攻克高精度EBSD研制难题。

　　该项目分为三个课题，课题一由空间中心与电工所承担，空间中心副研究员郑福作为课题负责人，研究目标为实现衍射花样的高灵敏度成像，研制紧凑型、高动态范围sCMOS相机；课题二由上海硅酸盐所独立承担，上海硅酸盐所副研究员王墉哲担任课题负责人，研究目标为研制新型稀土掺杂的高电光转换效率磷屏，研制高精度菊池带边缘识别、增强与取向标定算法，实现探测器的高空间分辨率和高取向精度；课题三由祺跃科技与上海硅酸盐所承担，祺跃科技总经理张跃飞作为课题负责人，研究目标为实现EBSD与电镜集成，以及性能参数匹配与优化，验证并完整探测器在材料中的应用研究，形成EBSD探测器工程化生产能力。

　　汇报结束后，专家组对项目汇报内容进行了全面而深入的质询与讨论，形成一致意见，建议通过论证。此外，专家组也提出了宝贵建议，即以应用需求为导向，进一步明确项目攻关目标的定位与特色。最后，张泽院士作总结发言，他强调，EBSD的研制不仅要在“测得准、测得快”这一基础上不断精进，更要瞄准国家的重大需求，如解决高端制造业面临的残余应力测量难题，将技术研发与实际应用紧密结合。他认为，只有突出特色，国产EBSD才能在激烈的市场竞争中异军突起。

　　22日下午，在张跃飞总经理的带领下，与会人员参观了祺跃科技的研发实验室、工程化生产基地等。祺跃科技在前期的发展中积累了丰富的技术资源和产业基础，其原位扫描电镜设计研制能力、扫描电镜成像探测器研制共享平台与技术基础、工程化生产基地与示范应用中心、研发生产与销售服务体系等为项目的工程化生产奠定了坚实基础。