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,分布在不同的电子层上。在最外层,每个氯原子有7个价电子。通过共用一对电子形成的共价键,两个氯原子形成氯气分子.
氯气主要用于干法刻蚀工序,用来刻蚀硅和金属等. 硅刻蚀:氯气可与硅反应生成氯化硅(SiCl₄),从而实现硅的刻蚀,化学反应方程式为:
这些氯化物由于其易挥发的特性,可以通过真空系统从刻蚀腔室中移除,从而实现材料的精确刻蚀。当然在刻蚀中还会掺杂一些其他气体,不仅仅是Cl2一种气体.
呼吸系统损害:氯气是一种强烈的刺激性和腐蚀性气体,吸入后可以严重刺激和烧伤呼吸道,导致咳嗽、呼吸困难、胸痛,甚至肺水肿。
眼睛和皮肤损害:氯气接触眼睛或皮肤时,会引起强烈的灼烧感。眼睛会疼痛、红肿、视力模糊等,甚至暂时性或永久性失明。皮肤接触氯气则可能引起皮肤红肿、疼痛、灼伤,水泡等。
在干燥、阴凉、通风良好的地方放置氯气罐,避免热源和阳光直射。确保氯气容器牢固地固定,严谨倾倒。
所有操作氯气的人员都必须接受严格的培训,了解氯气的危害、安全操作程序和应急响应措施。遵守所有安全操作规程和标准作业流程。
一般是机台端与厂务端结合使用:机台端可能会先进行初步的尾气处理,如过滤,吸附,洗涤等,然后将尾气输送到厂务端进行洗涤,燃烧等。
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常温常压下为黄绿色,是一种有强烈刺激性气味的剧毒气体,密度比空气大,可溶于水,易压缩,可液化为黄绿色的油状液氯,是氯碱工业的主要产品之一,可用作为强氧化剂。